X線リソグラフィー（エックスせんリソグラフィー）とは？意味・読み方・使い方

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エックスせん‐リソグラフィー【X線リソグラフィー】
の解説

半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハーにX線レジストなどの感光材を塗布し、X線吸収率が高い金属などの回路原版を重ね、波長がやや長い軟X線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも微細な加工が可能。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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