エム‐ビー‐イー【MBE】
《molecular beam epitaxy》⇒分子線エピタキシー
じんこう‐ちょうこうし【人工超格子】
蒸着や分子線エピタキシーの技術により、人工的に原子を一原子毎に積層させてつくる超格子。ガリウムとヒ素を重ねてつくるガリウムヒ素などの半導体超格子が知られる。
はんどうたい‐ちょうこうし【半導体超格子】
蒸着や分子線エピタキシーの技術により、一原子毎に積層させた半導体の超格子。原子の種類や積層の厚みを制御することで、さまざまなバンド構造をもつ半導体超格子をつくることができる。ガリウムヒ素（GaA...
ぶつりきそう‐せいちょうほう【物理気相成長法】
原料をプラズマやレーザーで加熱して蒸発させ、対象とする基板や金属の表面に、物理的に薄膜を蒸着させる方法。分子線エピタキシー、スパッタリング、イオンプレーティングなどの手法があり、半導体素子の製造...
