• はんどうたいちょうこうし【半導体超格子】

  蒸着や分子線エピタキシーの技術により、一原子毎に積層させた半導体の超格子。原子の種類や積層の厚みを制御することで、さまざまなバンド構造をもつ半導体超格子をつくることができる。ガリウムヒ素（GaAs）の半導体が知られる。

• はんどうたいろこうそうち【半導体露光装置】

  シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。

• はんどうたいせいぞうそうちつうしんスタンダード【半導体製造装置通信スタンダード】

  ⇒セクス

• はんどうたいチップ【半導体チップ】

  ⇒ICチップ

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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