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三弗化窒素（さんふっかちっそ） とは？ 意味・読み方・使い方

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さんふっか‐ちっそ〔サンフツクワ‐〕【三×弗化窒素】
の解説

窒素と弗素の化合物。無色無臭の気体。水に難溶。常温では化学的に安定で、温度が上がると酸化力が強くなる。半導体集積回路のプラズマエッチングに用いられる。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約1万7千倍の地球温暖化係数をもつ。化学式NF3

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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