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セ氏1000度以上で形成する多結晶シリコンアモルファスシリコンを再結晶させることで形成する。高温に耐える石英ガラス基板を使用する必要があり、製造コストが高く、大型化が困難という欠点をもつ。HTPS(high temperature polysilicon)。→低温ポリシリコン