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辞書
《silicon on insulator》シリコン基板上に薄い絶縁層を介して、シリコンの単結晶薄膜を形成し、この薄膜上に二次元的に広がった形で作製されたシリコンデバイス。従来のものに比して素子間のアイソレーションが取れ、動作が二次元的となるので、設計性がよくなる。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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