出典:デジタル大辞泉(小学館)

セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン薄膜トランジスター(TFT)の基板を製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコンに比べ、安価なガラス基板を用いることができ、大型化が容易という利点がある。LTPS(low temperature poly silicon)。