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超小型の部品から構成される機械装置。大きさの厳密定義はないが、数マイクロメートルから数ミリメートル程度のものをさす。半導体集積回路の微細加工技術を応用し、MEMSとよばれる、超小型のモーターや駆動装置を組み込んだ機械システムを、血管の中に入れて治療活動をするという試みがある。マイクロロボット。→ナノマシン

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